La activación electrostática neumática es un método de actuación para la formación de membranas finas para sistemas microelectromecánicos (MEMS), microelectromecánicos (MEMS) y MOEMS.K. J. Gabriel, O. Tabata, K. Shimaoka, S. Sugiyama, H. Fujita "Surface normal electrostatic/pneumatic actuator" Micro Electro Mechanical Systems 92 Travemunde (Germany), Feb. 1992Cleopatra Cabuz, Thomas R. Ohnstein, Michael R. Elgersma (2000), "Electrostatic/pneumatic actuator for active surfaces" US Patent No. 09/573,460 Este método se beneficia de la operación a alta velocidad y bajo consumo de energía.Moghimi, M. J. Chattergoon, K. N. Dickensheets, D. L. “High speed focus control capability of electrostatic–pneumatic MEMS deformable mirrors” in Proc. of SPIE 8977, MOEMS and Miniaturized Systems XIII, San Francisco, CA, Mar. 2014, pp. 897709, 897709-9 También puede causar grandes deflexiones en membranas finas. Los dispositivos MEMS de electrostática neumática suelen constar de dos membranas con una cavidad sellada intermedia. Una membrana llamada actuador se desvía en la cavidad por presión electrostática para comprimir el aire y aumentar su presión. La elevación de la presión empuja la otra membrana y provoca la forma de cúpula. Con actuación electrostática directa sobre la membrana, se logra una forma cóncava. Este método se utiliza en espejos deformables MEMS para crear espejos convexos y cóncavos. La actuación electrostática neumática puede duplicar el desplazamiento máximo de una membrana delgada en comparación con la misma membrana accionada electrostáticamente. Moghimi, M. J. Wilson, C. R. Dickensheets, D. L., “Electrostatic-pnuematic MEMS deformable mirror for focus control” Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), 2012 International Conference on , Banff, Canada, Aug. 2012, pp.132-133
Además, el uso de la actuación electrostática neumática añade una ventaja mecánica. Puesto que la cavidad está rellena de aire, la amplificación mecánica es más baja que con un fluido no compresible en una máquina hidráulica.
Referencias
Categoría:Microtecnología Categoría:Materiales ópticos